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奧松電子在MEMS智能傳感器領(lǐng)域深耕20余年，持續(xù)為客戶(hù)提供品質(zhì)優(yōu)良的傳感器產(chǎn)品，并不斷進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，采用自主研發(fā)的MEMS質(zhì)量流量芯片，開(kāi)發(fā)了一系列氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。這些MFC產(chǎn)品對(duì)于半導(dǎo)體、光伏、高端裝備制造、醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等工藝精密和環(huán)境敏感的領(lǐng)域來(lái)說(shuō)，產(chǎn)品自身的靈敏度、精確度及優(yōu)良的性能起著至關(guān)重要的作用。

AS200氣體質(zhì)量流量控制器

• 流量范圍覆蓋多個(gè)量程，從100SCCM到300SLM（可定制），能適應(yīng)多種場(chǎng)景需求

• 可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào)，1～5V或4～20mA模擬信號(hào)，方便客戶(hù)選擇

• 使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）

• 支持自動(dòng)故障報(bào)警，多氣體多量程

• 精度高達(dá)±1%

• 免費(fèi)提供上位機(jī)軟件

• 1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產(chǎn)安全

AMC2000氣體流量控制器

• 量程從100SCCM到5SLM，可定制

• 重復(fù)性好，穩(wěn)定可靠

• 支持多種氣體監(jiān)測(cè)測(cè)量控制

• 標(biāo)準(zhǔn)Modbus-RTU通信

• 質(zhì)量流量與溫度集成測(cè)量監(jiān)測(cè)控制

• 更換了底座結(jié)構(gòu)，優(yōu)化了流道設(shè)計(jì)，使流量更加穩(wěn)定

• 搭載了LED數(shù)碼管進(jìn)行讀數(shù)顯示，并對(duì)控制狀態(tài)一目了然。

• 加載了按鍵操作，設(shè)置相關(guān)參數(shù)，簡(jiǎn)單便捷。

  
  

選購(gòu)指南

適用場(chǎng)景不同

AS200適用于多種常規(guī)氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，量程規(guī)格很多，精度高，可以用于對(duì)氣體質(zhì)量流量的精密控制和測(cè)量，非常適用于半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：集成電路工藝設(shè)備，如外延、擴(kuò)散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設(shè)備；其他行業(yè)設(shè)備，如光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

AMC2000是針對(duì)微小氣體流量的測(cè)量與控制，可廣泛應(yīng)用于高?？蒲小⑾?、環(huán)境監(jiān)測(cè)、煙草、智慧農(nóng)業(yè)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)的質(zhì)量流量控制監(jiān)測(cè)。

客戶(hù)可根據(jù)自己應(yīng)用的實(shí)際場(chǎng)景選擇合適的量程范圍和精度的產(chǎn)品。如果您還不是很清楚該如何選型，歡迎掃描以下二維碼進(jìn)行咨詢(xún)。