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真空計、真空規(guī)可應(yīng)用在長晶設(shè)備、截斷設(shè)備、擴散爐、檢測設(shè)備等多種設(shè)備中，對腔室內(nèi)的氣體的真空度進行精確測量，以提升產(chǎn)品質(zhì)量，降低能源消耗。